мо-но-а·том-ный
Прилагательное, тип склонения по классификации А. Зализняка - 1*a.
Корень: --.
одноатомный
толщиной в один атом
Источник: ru.wiktionary.orgИзмерение длины звуковой волны в гелии позволило констатировать моноатомный характер гелиевых молекул: ... А.Н. Вяльцев, «Легчайшие атомные ядра», 1963 г. Источник: Интернет
Удачно разработанный сглаживающий луч «подметает» каждый моноатомный слой за несколько микросекунд, и общая скорость наращивания кристалла составляет 3 микрона в минуту. Филипп Старог, «Как создать искусственный мозг», 1975 г. // «Техника - молодежи» [НКРЯ] Источник: Интернет