Существительное
Слово происходит от ультрамикроскоп
При этом в качестве параметра частицы в рамках дисперсионного анализа с помощью ультрамикроскопа или проточного ультрамикроскопа могут измерять интенсивность света, рассеянного отдельной частицей. Источник: Интернет