Прилагательное
Слово происходит от туннельный
В туннельном сканирующем микроскопе система пьезокристаллов, управляемая компьютером, обеспечивает трехкоординатное перемещение металлического зонда на расстоянии порядка 0,1 HM от исследуемой поверхности. Источник: Интернет
Изображения хлорированной поверхности серебра, полученные на сканирующем туннельном микроскопе, представляют собой островки хлорида серебра, окруженные рвами. Источник: Интернет