мик-ро-мет-ри·я
Существительное, неодушевлённое, женский род, 1-е склонение (тип склонения 7a по классификации А. А. Зализняка).
Префиксоид: микро-; корень: -метр-; суффикс: -иj; окончание: -я [Тихонов, 1996].
измерение мельчайших линий и частей
Источник: ru.wiktionary.org