масс-диф-фу-зи·я
Существительное, неодушевлённое, женский род, 1-е склонение (тип склонения 7a по классификации А. А. Зализняка).
Корень: -масс-; корень: -диффуз-; суффикс: -иj; окончание: -я.
техн. разделение газообразной изотопной смеси при помощи потока вспомогательного газа (пара), в котором происходит диффузия изотопов (разных с разной скоростью)
Источник: ru.wiktionary.org