Прилагательное
Слово происходит от химико-термическая
При непосредственном участии Н. Г. Самусенко была освоена новая на тот момент технология химико-термической обработки инструментов из высокостойкой легированной стали, эта технология позволила повысить стойкость инструментов в несколько раз. Источник: Интернет
Существующие методы химико-термической обработки можно разделить на три основные группы: насыщение из твёрдой фазы (в основном, из порошковых засыпок), насыщение из жидкой фазы и насыщение из газовой (или паровой) фазы. Источник: Интернет