фо-то-ли-то-гра-фи·я
Существительное, неодушевлённое, женский род, 1-е склонение (тип склонения 7a по классификации А. А. Зализняка).
Префиксоид: фото-; корень: -лит-; интерфикс: -о-; корень: -граф-; суффикс: -иj; окончание: -я [Тихонов, 1996].
широко используемый в микроэлектронике и полиграфии метод получения рисунка на тонкой плёнке материала с помощью света определённой длины волны
истор. литография с применением фотографии
Источник: ru.wiktionary.org«Рисунок» из четырёх тысяч транзисторов и их подключения обеспечены методами фотолитографии. Степан Васильев, ««Атомный бильярд» для электроники» // «Зеркало мира», 2012 г. [НКРЯ] Источник: Интернет
Пуатевен покрыл литографский камень хромированной желатиной, проэкспонировал на этот слой изображение, проявил его и покрыл краской. Свой способ он назвал фотолитографией. Е. Л. Немировский, «Иоганн Гутенберг», 1989 г. [Google Книги] Источник: Интернет
photolithography