э·пи-так-си·я
Существительное, неодушевлённое, женский род, 1-е склонение (тип склонения 7a по классификации А. А. Зализняка).
Корень: --.
нарастание одного кристаллического материала на другом; ориентированный рост одного кристалла на поверхности подложки
Источник: ru.wiktionary.orgРассмотрение эпитаксии с позиции дефектности границ сопряжения позволяет сформулировать общий принцип, определяющий формы эпитаксии и ориентировки в следующем виде: ... Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В. М. Косевич, «Механизм образования и субструктура конденсированных пленок», 1972 г. Источник: Интернет
epitaxy