Прилагательное
Слово происходит от электровакуумные
В 1956 году завод и институт переданы в Министерство радиотехнической промышленности СССР, на базе института были организованы НИИ полупроводников, ОКБ катодной электроники и завод элементов электровакуумных приборов. Источник: Интернет
В мае 1946 года в составе завода было создано Особое конструкторское бюро для разработки сверхвысокочастотных электровакуумных приборов. Источник: Интернет
Однако к 1950-м годам появление гораздо более компактных по сравнению с экситронами одноанодных электровакуумных выпрямителей с водяным охлаждением — Источник: Интернет